高速多尺度无掩膜芯片直写光刻机与扫描隧道显微镜
以 Grbl_Esp32 运动控制 + 无刷电调 + 树莓派(nanodlp)搭建的「手搓光刻机」开源硬件项目,并深化为基于楞次定律减震体系的扫描隧道显微镜系统。
🔬 项目概览
2021 至 2022 年发起并担任团队负责人:组队、分工、催交材料、选定专利代理、撰写视频剧本。目标是把「无掩膜直写光刻」这套通常在超净间里做的事情,用开源硬件与消费级器件做出来。
- 运动控制:Grbl_Esp32 固件 + 无刷电调驱动的进给系统;
- 投影与曝光:树莓派承载
nanodlp数字光处理链路; - 深化方向:进一步研究基于压电陶瓷、涡流阻尼、钟摆、谐振子与楞次定律构成的减震体系,用于扫描隧道显微镜(STM)系统与控制方法。
📜 竞赛与知识产权(如实口径)
- 2021 中国「互联网+」大学生创新创业大赛:进入北京市赛;当年校内仅 10 个推荐名额。
- 2022「青创北京」挑战杯首都大学生创业计划竞赛:进入市赛(校内选拔赛获奖项目表内)。
- 发明专利(申请中):《基于压电陶瓷与涡流阻尼、钟摆、谐振子及楞次定律减震体系的扫描隧道显微镜系统及控制方法》——这是本人唯一一项发明专利,且仍在申请中,本站不称其为授权专利。
- 另有 2024 年该方向的持续研发与自媒体视频策划记录。
- 关于另一项「天工杯」创新创业大赛:记录显示进入决赛但未获奖,故本站不将其列入获奖。
🎬 传播侧
同期以 B 站 UP 主「超级无敌麻辣串」身份策划光刻机相关视频,把这套硬核内容做成可传播的科普素材。